真空等離子清洗機的反應腔室常見的材質(zhì)包括石英玻璃、不銹鋼和鋁合金等，不同行業(yè)和應用領域的選擇會有所區(qū)別。用于半導體行業(yè)的等離子清洗機大多采用鋁合金，這是為什么呢？

　　半導體行業(yè)用于清洗、刻蝕的等離子清洗機對真空反應腔室的材質(zhì)選擇比較講究，畢竟處理晶圓、支架等產(chǎn)品對工藝環(huán)境的要求很高。普樂斯等離子清洗機選擇鋁質(zhì)腔體大致有以下一些原因：

　　1、 鋁合金密度低，強度高，超過優(yōu)質(zhì)鋼，機械加工性能比較好。

　　2、 鋁具有優(yōu)良的導電性、導熱性和抗蝕性。

　　3、材料對化學反應的兼容性比較好，不易產(chǎn)生金屬污染、particle等。

　　4、表面處理方面鋁合金較為豐富，包括電泳、噴涂、陽極氧化等。

　　5、趨膚深度鋁是不銹鋼的10倍以上，使得電流分布更均勻，腔體不容易發(fā)熱。

　　標簽：半導體清洗機